プラズマ材料科学

固体、液体、気体に続く第４の物質の状態ー"プラズマ"。プラズマのもつ各種の特異物性は純粋な物質科学としての学問的興味のみならず、プラズマを用いた先端半導体やバイオマテリアル、カーボンナノマテリアルなどの材料プロセス技術、プラズマ医療やプラズマ農業などのプラズマ生命科学、フロンなどの環境有害物質処理などプラズマ環境科学、などの幅広い物質科学技術の分野で必要不可欠な基盤科学技術となっている。本講義では、マテリアル（物質・材料）の創製に用いられる"プロセスプラズマ"を対象にして、その発生、物性、および、半導体デバイスプロセスなどのプロセシングなどへの応用についての講義を行う。先端マテリアルデバイス開発に必要不可欠なプロセスプラズマの理解を深めることを目標とする。

Plasma　Materials Science is now one of the most fundamental in materials science and engineering. For example, plasma-based surface processes are indispensable for manufacturing the integrated circuits used by the electronics industry. Plasma processing is also an important technology in the aerospace, automotive, biomedical, and toxic waste management industry. The field is interdisciplinary, combining the area of plasma physics, surface science, gas-phase science, and atomic　and molecular physics. In this lecture, we study plasma materials science in order to deeply understand process plasma for advanced materials development.