大学院
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最終更新日：2026年10月16日
授業計画や教室は変更となる可能性があるため、必ずUTASで最新の情報を確認して下さい。
UTASにアクセスできない方は、担当教員または部局教務へお問い合わせ下さい。
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マイクロメカトロニクス
マイクロメカトロニクス／ Micromechatronics
主にシリコン半導体微細加工技術を用いたマイクロメカトロニクス（ＭＥＭＳ、microelectromechanical systems）型のマイクロセンサ、アクチュエータの設計・製造方法の基礎と応用を習得する。
To master the fundamental knowledges and applications of micro sensors and actuators developed by the Micromechatronics or MEMS (microelectromechanical systems) technology using silico microfabrication processes.
To master the fundamental knowledges and applications of micro sensors and actuators developed by the Micromechatronics or MEMS (microelectromechanical systems) technology using silico microfabrication processes.
時間割／共通科目コード
コース名
教員
学期
時限
3747-021
GEN-EE6c11L3
マイクロメカトロニクス
年吉 洋
月曜3限
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講義使用言語
英語
単位
2
実務経験のある教員による授業科目
NO
他学部履修
可
開講所属
工学系研究科
授業計画
Chapter 1Introduction to MEMS
Chapter 2Micromachining Process
Chapter 3Bending Beam Theory
Chapter 4Micro Actuators (Electrostatic Actuator)
Chapter 5Equivalent Circuit Modeling
Chapter 6Harmonic Oscillator Theory
Chapter 7Electrostatic Actuator Analysis
Chapter 8Capacitive Sensors and Oscillators
Chapter 9Gyroscope
Chapter 10Energy Harvester Theory
Chapter 11Energy Harvester Analysis
Chapter 12Strain Gauge / Report Problem Posted
授業の方法
オンライン（Zoom）
Online (Zoom)
成績評価方法
期末にレポート課題を提出
Term paper (report) submission
履修上の注意
講義の前に資料をオンラインで配布するので、予習すること。
Prepare for the class using materials provided in advance.
