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拡張ナノ空間実践演習

This experimental course aims at giving Ph.D students an introduction to MEMS devices. MEMS is the key device for future society; despite its broad application fields, the principle of such device is simple. The students can learn such principles and study by designing and measuring his / her own in-plane oscillating MEMS device.
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時間割/共通科目コード
コース名
教員
学期
時限
3722-125
GEN-ME6b20L1
拡張ナノ空間実践演習
光石 衛
S1 S2
集中
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教室
講義使用言語
日本語、英語
単位
2
実務経験のある教員による授業科目
NO
他学部履修
開講所属
工学系研究科
授業計画
The lecture will be around summer vacation period. Five day's course. Attendee are requested to present at all the days. 1. Introduction to MEMS devices 2. Introduction to CAD design 3. Design of in-plane vibrating MEMS 4. Introduction to Cleanroom 5. Fabrication of MEMS device in Takeda Supercleanroom 6. Frequency response measurement with Micro System Analyzer 7. Equation and simulation based analysis of the measured device.
授業の方法
集中講義で実施します.受講には事前登録が必要です. 講義日程など詳細は決定次第、GMSIホームページ <http://gmsi.t.u-tokyo.ac.jp/***** に掲載します. This lecture is GMSI lecture. Please contact GMSI office for subscription details. Prior registration is required to take this course. The lecture schedule and the the detailed information will be updated on GMSI Homepage <http://gmsi.t.u-tokyo.ac.jp/***** as soon as it is decided.
成績評価方法
Attendance, designed MEMS, and presentation.
教科書
Reference: 三田吉郎、「MEMSデバイス徹底入門」、日刊工業出版社、ISBN978-4-526-07871-2 C3054 (2018/8/30)
実務経験と授業科目の関連性
ナノテクノロジープラットフォームは、大学の研究だけでなく、企業による先端技術の開発に利用されている。量産に使われている装置と同じか、それ以上の性能を持つ装置による実践的な設計試作が可能である。