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最終更新日:2024年4月1日
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拡張ナノ空間実践演習
This experimental course aims at giving Ph.D students an introduction to MEMS devices. MEMS is the key device for future society; despite its broad application fields, the principle of such device is simple. The students can learn such principles and study by designing and measuring his / her own in-plane oscillating MEMS device.
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