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最終更新日:2024年3月15日
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マイクロ知能機械
マイクロ知能機械の講義では、マクロな世界とは支配法則が異なる微小スケールのシステムを扱う。微小なシステムに適した機構・構造の設計、またそこで用いられる半導体・半導体プロセス等について講義する。
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